这里描述了一种实验方法:将有序的3D石墨烯片阵列原位保形生长在纳米线(NW)基底上。该过程采用的是镍催化剂自牺牲的CVD工艺,这可以使得石墨烯生长在绝缘的SiO2衬底上。此纳米压印硅NW既充当了催化剂的支架,又作为最终的底物。该方法获得的石墨烯是多晶且多层的。该工作提出了一种新颖且快速的方法,可用于生产导电的石墨烯片,且形貌及组织精确可控。该纳米结构衬底本身的几何形状有助于实现石墨烯的原位生长,因为在湿法蚀刻过程中产物难以洗去。其中Si NW的使用增加了表面积和光捕获效果,再结合石墨烯的特性,有望用于未来传感器和光伏设备之中。
Figure 1.(a)生长石墨烯片的大致工艺流程,其中金属Ni是利用腐蚀试剂将其刻蚀,使得石墨烯直接在NWs上,(b)该示意图描述了石墨烯在NWs基底上生长的标准实
Figure 2.(a)Si NWs的SEM图,(b)Ni沉积后样品的SEM图,(c)在CH4氛围中加热1.5 min后样品的SEM图,(d-e)刻蚀金属Ni后样品的SEM图,(f)Ni刻蚀前后的Raman光谱,(g)随机不同位置处的Raman光谱。
Figure 3.(a)单个纳米线被多层石墨烯片覆盖的TEM图,(b)TEM图显示了多层石墨烯的存在,且间距为0.34 nm,(c)金属Ni刻蚀后多个纳米线的SEM-EDS谱。
Figure 4.(a-c)不同样品的Raman光谱,(d-f)平均碳D:G 强度比例呈现了相应的变量效应,(g-i)不同条件下获得样品时的SEM图,(j)大的NWs显示了石墨烯片成六边形形状。
该研究工作由日本国立材料科学研究所的Steaphan Mark Wallace课题组于2020年发表在Nanoscale Advances期刊上。原文:On-site Growth Method of 3D Structured Multi-layered Graphene on Silicon Nanowires。