二维石墨烯由于其优越的电学、光学和热学性能,在后摩尔时代成为硅的有力竞争者。然而,当石墨烯与非晶衬底耦合时,其面内导热性会发生强烈的退化。同时,石墨烯与介质衬底之间微弱的范德华相互作用导致界面热阻高。器件散热面临严峻挑战,热点升高,电气性能下降。在这里,应用自组装单层(SAMs)来修饰石墨烯和氧化物衬底之间的界面,并减轻器件中的热问题。−NH
2端接的SAM增强了石墨烯与衬底之间的界面耦合强度,增加了界面导热系数。−CH
3端接的SAM有效地抑制了衬底声子散射,保持了石墨烯的高面内导热性。特别是,−NH
2端接的SAM显著提高了石墨烯场效应晶体管的散热效率,缓解了自热问题。器件的载流容量和最大功率密度分别提高了28.1%和48.2%。研究提供了一个非常有吸引力的平台,用于整合地对空导弹来改善二维电子器件的热管理。
图1. 不同基底上的单层石墨烯。(a) SiO
2、APTES/SiO
2和ODTS/SiO
2上石墨烯的结构示意图。ODT和APET上的末端官能团分别为−CH
3和−NH
2。(b) 原始SiO
2、APTES/SiO
2和ODTS/SiO
2衬底的AFM图像;比例尺为1μm。(c) (b)中样品表面的高度直方图。(d) 原始SiO2、APTES/SiO
2和ODTS/SiO
2基板的接触角。
图2. (a) 石墨烯在不同改性层上的热导率测量。(a、b)悬挂式电热测温平台示意图(a)和扫描电镜图像(b)。(c) 原始SiO
2、APTES/SiO
2和ODTS/SiO
2衬底上石墨烯样品的热导率。(d) 不同衬底上石墨烯薄膜的热导率随温度的变化。比较显示了文献中CVD生长石墨烯样品的热导率测量值。
图3. 石墨烯与不同衬底耦合的TBC测量。(a) 设备热阻分布示意图。(b–d)原始SiO
2(b)、ODT/SiO
2(c)和APTES/SiO
2(d)上的ΔTGr和ΔTSi与P的关系。(e) 石墨烯在不同基底上的TBC。(f) 与其他报道的石墨烯和SiO
2的TBC的比较证明了我们的基底修饰的积极影响。
图4. 石墨烯热性能增强机理的研究。(a)不同改性层石墨烯碳原子的XPS光谱。(b)石墨烯的紫外发射光谱。(c)石墨烯薄膜在APTES/SiO
2、ODTS/SiO
2和SiO
2上的拉曼光谱,石墨烯的特征G峰和2D峰。(d) ODTS(左)和APTES(右)石墨烯器件的散热示意图。
图5. 各种衬底上G-FET的电学和热学测量。(a) 沟道尺寸为3×6μm
2的G-FET器件的高场击穿。(b) 拉曼测温测量装置示意图。(C) 在工作功率为8 mW时,分别在SiO
2(左)、ODTS/SiO
2(中)和APTES/SiO
2(右)上绘制石墨烯沟道温度图。(d和e)分别在APTES/SiO
2、ODTS/SiO
2和SiO
2上的G-FET器件的最大电流密度(d)和功率密度(e)。比例尺为1μm。
相关研究成果由华中科技大学
Kai Yang、Guoqing Xin和西安电子科技大学Dongdong Chen课题组2024年发表在
ACS Applied Materials & Interfaces (链接:https://doi.org/10.1021/acsami.4c14463)上。原文:
Enhancing Thermal Management of Graphene Devices by Self-Assembled Monolayers
转自《石墨烯研究》公众号