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石墨烯使MEMS传感器变得更敏感
来自瑞典的KTH皇家研究所的研究人员开发了石墨烯硅压阻传感器。这种石墨烯传感器和普通硅压阻传感器相比灵敏度增加100倍。
研究人员在一个硅衬底上放置一个镂空的二氧化硅片,在上面再覆盖一片石墨烯。石墨烯成为一个隔膜,他们制作了一个原型装置,作为一个应变仪,这个还可以应用在其他MEMS传感器上。
 
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