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一步法硅片上生长和转移石墨烯
 新加坡的科学家发现了一步法生长和转移石墨烯到硅片和其它的硬质基底
上。这项发现来自新加坡国立大学(NUS),由 Loh Kian Ping 教授主导,将迎
来石墨烯在高价值领域的应用。
这项突破,受到甲壳虫和和树蛙腿附着水下的叶子的启发,被认为是目前为
止实现石墨烯在硅片上生长和转移的第一个已发布的技术这项技术使石墨烯应
用在光电产品成为可能,像光电调节器、晶体管、芯片传感器和隧道结。这项发
现最早在Nature 上发布。
Loh 教授曾在一份声明中表示:虽然柔性石墨烯有很多潜在的应用,但是目
前为止大部分半导体组件是在硬质基底比如说硅和石英上运行的。
作为这项论文的第一作者 Gao Libo 博士同时也是NUS 理学院石墨烯研究中
心的一名研究员。他在涂覆硅衬底的铜催化层上生长了石墨烯,石墨烯生长好后,
铜被腐蚀掉,而石墨烯气泡形成的毛细管道固定住了。这与甲壳虫和树蛙的退粘
附在水下的叶子上很像。毛细管道能够帮助石墨烯覆在硅表面同时防止石墨烯在
催化剂铜箔腐蚀过程中发生分离。这样石墨烯覆在了硅层上。为了促进毛细管道
的形成,Gao 博士采用将气体注入硅片,这能帮助调整界面性能促进在液体渗透
过程中毛细管通道的形成,添加的表面活性剂能帮助消除转移过程中褶皱的形成
这种“面对面”转移技术被认为同样适用于半导体批量生产线和在硅片上制
造大规模集成电路。
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