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台阶仪


台阶仪可以精确测量台阶高度并进行3D渲染，可以无伤测量软薄膜表面。

名称 台阶仪 编号 仪器编号
品牌/厂家 KLA-Tencor 型号/规格 Alphastep D-120

技术特点

AlphaStep轮廓仪配置自动台，采用了新型光学反射探测系统来测量高度，同时应用电磁力控制探针压力，能有效的实现超微力和低惯量 。这些创新型使表面轮廓仪能够无伤测量软薄膜样品。

系统参数

1. 样品台直径：200mm

2. 扫描长度范围：30mm

3. 分辨率：横向100nm，垂直0.38埃

4. 垂直测量范围：10埃至1.2mm

          产品应用

发展系列探针轮廓仪是一台计算机控制的高灵敏的表面轮廓仪，可测量台阶高度，粗糙度和波纹度，及许多其他应用。

           样品要求

直径≤200mm、厚度≤30mm，样品衬底尽量平整。


委托检测申请书下载    

检测流程：
1.填写委托检测申请书。
2.打印的原件并扫描，把原件和样品一起寄到制定地点。
3.把申请书扫描件发到jc@graphenes.net邮箱。
4.付款。
5.收到样品五个工作日内，用邮箱将检测结果发回。如果要出检测报告的，寄回检测报告。剩余样品要求寄回的，寄回剩余样品。

jc@jcno.net
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