图1,二维材料叠加系统的基本构成
图2 主机的部件示意图
1.上层样品控制部分；2‚下层样品控制部分；3.显微成像部分；4.光路部分
图3 控制器示意图
图4 软件界面
图4 真空泵示意图
表1 设备部件功能说明
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序号 |
部件名称 |
功能说明 |
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1 |
上层样品控制部分 |
寻找上层样品并精确控制上层样品下降，叠加下层样品 |
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2 |
下层样品控制部分 |
寻找旋转中心；寻找下层样品 |
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3 |
显微成像部分 |
对上下层样品成像，确定位置 |
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4 |
光路部分 |
加工样品 |
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检查设备
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打开LED灯，检查电源开关是否正常工作；
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打开CCD软件，检查是否正常工作；
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打开电控台开关，检查是否正常运行；
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打开软件控制部分，测试是否正常工作；
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检查螺丝等紧固件是否该牢固，以达到安全工作。
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准备工作
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放置上下层样品，观察其所在平面是否平行，若否，调试“角位移台”至平行；
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聚焦下层样品平面，在电脑清晰成像，调节“电动转台”，观察旋转中心是否在成像范围内，若否，调节②中二维平移台直至旋转中心在成像范围内。
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工作步骤
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通过调节②中二维平移台寻找下层样品，调节①中平移台寻找上 层样品平面，然后寻找上层样品；
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打开电控台以及软件，电控台上选择③中一维电动平移台对应地址并电控寻找下层样品，软件同时记录了位置变化，及上下层样品间的距离L；
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选择①电动平移台对应地址，调控电动平移台下降L，将两样品贴合。
问题1：两个一维电动平移台的设定相同的行程时，实际位移不同。
解决方案：重新安装电控台控制器或在‘平移台类型’选对应型号的类型。
问题2：电动平移台①运行了L距离，但仍上下层样品没有贴合。
解决方案：尝试一个微小的超过量，如果仍没有贴合，重新调节平行。
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